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真空镀膜机真空度数值异常,无法抽到真空怎么办?(已解决)

  真空度数值异常,无漏气孔无法抽到真空怎么办?

  答:出现这种现象原因很大可能在于真空探头异常。

  真空探头异常:

  低真空探头2个

  工程真空探头1个

  高真空探头1个

  检修及维修措施:

  1、管道真空和仓体真空度真空数值不一致时更换新的探头

  皮拉尼压力计每台设备安装2个低真空计管道的真空计及仓体真空计可互换安装确认

  2、无法开启时清洁真空计,拆卸后用酒精清洗(但是安装不当会漏气)

  以上就是关于 真空镀膜机真空度数值异常,无法抽到真空 的原因及检修措施,法克泰光电提供镀膜机维修、保养、升级改造、移机组装服务,欢迎来电咨询!

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发布时间:2020-12-09 10:06:00
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